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，佳能宣布將于2022年8月初發(fā)布KrF半導(dǎo)體光刻機(jī)FPA—6300ES6a的Grade10產(chǎn)能升級(jí)套件。

據(jù)介紹，KrF半導(dǎo)體光刻機(jī)FPA—6300ES6a自發(fā)布以來(lái)，在生產(chǎn)存儲(chǔ)器和邏輯電路的大型半導(dǎo)體器件制造商中獲得了良好的口碑新發(fā)布的Grade10升級(jí)包可以在300mm晶圓規(guī)格的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)每小時(shí)300片晶圓的高效生產(chǎn)此外，該升級(jí)包將于2023年應(yīng)用于KrF半導(dǎo)體的光刻機(jī)FPA—6300ES6a的200mm兼容設(shè)備

本站了解到，Grade10升級(jí)包通過(guò)加快工作臺(tái)和傳輸系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)，縮短了曝光時(shí)間和傳輸時(shí)間，實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體光刻行業(yè)更高水平的生產(chǎn)，產(chǎn)能達(dá)到每小時(shí)300片同時(shí)，這也是佳能首次在半導(dǎo)體光刻設(shè)備上安裝基于人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的工作臺(tái)控制系統(tǒng)，以減少高速驅(qū)動(dòng)帶來(lái)的震動(dòng)，從而保持高精度的光刻水平此外，通過(guò)選擇套印精度配件，可實(shí)現(xiàn)高達(dá)4納米的套印精度，同時(shí)提高生產(chǎn)率